超痕量水分儀在半導體制造前端工藝上的運用

超微量水分計“FalconTrace"采用球型SAW傳感器，可定量測量工業(yè)氣體和天然氣中所含的微量水分子。

響應速度極快，可以實時監(jiān)測水分含量的變化，還可以測量水分含量和背景氣體成分分析兩項。可以精確測量氣體中的水分濃度，低至 1 ppb（十億分之一）水平。

介紹示例/應用

產品陣容

響應速度極快，可以在幾秒鐘內監(jiān)控水分含量的變化，這對于穩(wěn)定半導體和二次電池制造過程中的產品產量和質量非常有用。
無需重新配置每種背景氣體，當天然氣等成分出現(xiàn)波動時，可以同時檢測。另一個主要優(yōu)點是傳感器材料是水晶球，使其耐腐蝕、重量輕且易于攜帶。